喷胶机
文章作者:admin 更新时间:2019-01-21 09:57
喷胶机
设备介绍
喷胶机是一种能够覆盖崎岖形貌的光刻胶涂覆设备,特别适合厚胶涂覆,可明显节省光刻胶。雾化喷头将光刻胶雾化成雾滴,溅到衬底或晶圆表面,热板加热,将光刻胶溶剂蒸发,使得有用的树脂留在衬底或晶圆表面,形成相对均匀的光刻胶覆盖。雾化喷头在衬底或晶圆上方做S形运动,以保证每一处被均匀的被覆盖。当雾化喷头经过若干次S形扫描,衬底表面形成均匀的光刻胶覆盖。
产品性能
1.喷胶范围:8英寸(向下兼容)
2.喷胶厚度均匀性:<10%@10μm
3.喷胶结构深宽比:<1
4.热板温度范围:常温~125℃
* 可定制其他规格的喷胶机。如弧形喷胶机
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