显影机
文章作者:admin 更新时间:2019-01-21 09:56
显影机
设备介绍
显影机由工艺腔体、控制系统、动力部分及显示部分、夹具、储液罐等组成。
采用喷雾式或者puddle式显影方法,晶圆被吸附于真空吸盘夹具上并旋转,显影液通
过喷嘴喷射或者滴到晶圆上,显影完成后清洗喷嘴对晶圆进行冲洗,提高晶圆的旋转
速度,将其甩干。
产品性能
1.基片尺寸:≤6英寸;
2.SUS304耐腐蚀腔体;
3.转速范围:0-1500rpm;
4.转速精度:±5rpm;
5.多喷嘴自动切换;
6.喷雾形状:锥形、扇形;
7.手动式压力调节;
8.触摸屏(10.4英寸)操作;
9.大容量压力罐(15L)。
安装条件
1.真空:-0.8bar~-0.6bar;
2.氮气/CDA:0.6MPa;
3.使用温度:0~55℃;
4.存贮温度:-20~60℃;
5.使用湿度:10% RH~90%RH(无凝露);
6.功率:<1KW;
7.排风:排风口直径>100mm。
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