工艺介绍：
1、图形最小线宽：不同光刻方式下线宽不同，nm-um级均可以加工；
2、衬底可选：透明衬底有玻璃/石英/蓝宝石等，也可选非透明衬底，如砷化镓等，可根据客户要求选择；
3、可做金属标记和刻蚀标记，按需选择；
4、衬底尺寸：一般整晶圆加工，8寸及以下兼容。
