工艺介绍：
1、目前悬空结构还有硅材料/金刚石膜层材料/或其他特殊材料，由于悬空结构加工难度较大，需要技术评估确认；
2、图形线宽：理论上nm-um级均可以加工；
3、衬底尺寸：一般整晶圆加工，6寸及以下兼容；
4、悬空结构背腔加工方式：湿法腐蚀或干法刻蚀。
