工艺介绍：
1、较少做正面压阻结构和金属布线，一般做背腔和阳极键合；
2、背腔结构可以用KOH腐蚀或硅干法刻蚀做，KOH需注意正面图形保护，可使用我司定制的腐蚀夹具；
3、阳极键合可以做4-8寸，极限真空10-3Pa，可充氮气等做控压键合；
4、衬底尺寸：一般整晶圆加工，4/6/8寸。
