工艺介绍：
1、SU8胶厚度均一性：胶厚≤10um，均一性在±2%以内；10um＜胶厚≤50um，均一性在±10%；胶厚＞120um，均一性在±20%以内；
2、最小线宽：≥2um；
3、高宽比：≥5:1
4、可加工多层SU8
5、衬底尺寸：一般整晶圆加工，8寸及以下兼容。
