工艺介绍：
硅微针：广泛应用于皮肤类药物精准给药，医疗美容，药物皮试等项目。一般在硅衬底上使用半导体光刻工艺与湿法腐蚀工艺制作。
1、可做实心微针和中空微针；
2、微针底部最小可做20um左右尺度，对应的针尖在5um左右；微针高度最高在200um左右，相对应的底座尺寸也会增加；
3、衬底尺寸：一般整晶圆加工，8寸及以下兼容。
