Lift-off设备
设备介绍
以溶剂作为光刻胶去除剂,晶圆被吸附于真空吸盘夹具上并旋转,光刻胶去除剂通过喷嘴喷射到晶圆上,光刻胶通过溶剂的溶解性和剪切力从晶圆上剥掉。
安装条件
1.真空:-0.8bar~-0.6bar;
2.氮气/CDA:0.6MPa;
3.使用温度:0~55℃;
4.运行湿度:10%RH ~ 90%RH
(无凝露);
5.功率:<1KW;
6.排风:排风口直径>100mm。
产品性能
1.基片尺寸:≤6英寸;
2.SUS304耐腐蚀腔体;
3.转速范围:0-1500rpm;
4.转速精度:±5rpm;
5.多喷嘴自动切换;
6.喷雾形状:锥形、扇形;
7.手动式压力调节;
8.触摸屏(10.4英寸)操作;
9.大容量压力罐(15L)。